界面準位とは、材料の界面に存在する電子が存在できるエネルギー準位。表面準位とも。
バルク(表面でない材料の内側)とは異なるエネルギー準位である。 フェルミ準位のピン止め現象や界面付近におけるキャリア移動度の散乱の原因になる。 ケイ素(シリコン)と二酸化ケイ素(シリコンオキサイド)のような欠陥の少ない界面ではあまり影響しないが、 金属と半導体のショットキー接続を利用したショットキダイオードなどでは影響が大きい。