電子散乱とは特に原子核物理学において広く用いられるもので、電子は原子のクーロンポテンシャルで散乱され、電子と原子核のスピンが相互作用することである。散乱電子の解析から、電荷分布の形状因子が得られる。これは電荷分布のフーリエ変換に相当する。弾性散乱と非弾性散乱の2つに区分される。
微分断面世紀は以下のように定義される。
電子散乱は特に20世紀初頭に物質構造の研究に大きな進歩をもたらした。例えば、ラザフォード散乱などは有名である。また、陽子の構造も電子散乱を用いて研究されてきた。