直接圧電放電プラズマとは大気圧を含む広範囲の圧力の作動ガス中で高電圧圧電の直接的な放電によって生成される低温非平衡プラズマの一種である。圧電の小型化と効率性により、このプラズマの生成方法は特にコンパクトで、エネルギー効率が高く、低コストである。これは医療技術や微生物学、臨床研究、金属のプラズマ活性化などの幅広い分野で応用される。また、このプラズマに基づくオゾン生成器は中程度の濃度のオゾンを効率的に生成する。